Čistá miestnosť pre mikroelektroniku je špeciálne výrobné prostredie na zabezpečenie kvality a efektívnosti produktov v mikroelektronickom priemysle. Pri tomto projekte sa berie do úvahy veľa faktorov, ako je čistenie vzduchu, teplota, vlhkosť, elektrostatická a hluková kontrola atď.
Rôzne triedy priemyselných aplikácií pre čisté priestory mikroelektroniky:
1.Výroba integrovaných obvodov
- ISO 1 - 3: často sa používa v najpokročilejších procesoch fotoleptania, leptania a iných, ktoré vyžadujú extrémne vysokú kontrolu drobných častíc a mierna kontaminácia môže viesť k defektom čipu.
- ISO 4 - 5: Vhodné na nanášanie tenkých vrstiev, iónovú implantáciu a iné procesy pri výrobe čipov a má tiež prísne požiadavky na kontrolu častíc.
2.Test zapuzdrenia polovodičov
- ISO 6 - 7: Môže spĺňať požiadavky väčšiny odkazov na testovanie balenia, ako je balenie čipov, funkčný test atď.
3. Výroba panelových displejov
- ISO 5 - 6: Používa sa pri výrobe povlakov a expozícií pri výrobe panelov LCD.
4. Výroba elektronických komponentov
- ISO 7 - 8: používa sa na výrobu elektronických komponentov s relatívne nízkymi požiadavkami na životné prostredie, ako sú odpory, kondenzátory atď.
Stručne povedané, čím vyššia trieda čistých priestorov, tým menší počet suspendovaných častíc vo vzduchu, ktoré možno kontrolovať, tým čistejšie prostredie a tým vhodnejšie pre mikroelektronické výrobné procesy, ktoré vyžadujú mimoriadne prísne výrobné prostredie. Čistá miestnosť nižšej triedy je však vhodná pre výrobné procesy, ktoré vyžadujú relatívne voľné prostredie.
Hlavné zariadenia systému čistenia vzduchu čistej miestnosti mikroelektroniky:
1.Vzduchový filter
- Primárny účinný filter: používa sa hlavne na filtrovanie väčších častíc, ako je prach, vlasy atď., ktoré zohrávajú predbežnú úlohu pri čistení vzduchu.
- Stredne účinné filtre: filtrujú stredne veľké častice znečisťujúcich látok a ďalej zlepšujú čistotu vzduchu.
- HEPA filter: kľúčové zariadenie na dosiahnutie vysokej čistoty s vysokou účinnosťou filtrácie častíc nad 0,3 mikrónov
- Filter s ultra vysokou účinnosťou (ULPA filter): pre 0.1 - 0.3 mikrónové častice jeho filtračná účinnosť môže byť nad 99,999 % a často sa používa na miestach s mimoriadne vysokými požiadavkami na čistotu.
2.Ventilátor
- Zodpovedá za poháňanie prúdu vzduchu, aby vzduch prechádzal cez filter a cirkuloval v čistej miestnosti.
3.Potrubie
-používa sa na dopravu filtrovaného vzduchu na zabezpečenie rovnomernej distribúcie vzduchu do všetkých priestorov čistej miestnosti.
4. Jednotka na úpravu čerstvého vzduchu
- priveďte čerstvý vzduch von, prefiltrujte ho a upravte teplotu a vlhkosť tak, aby vyhovovali potrebám čistej miestnosti.
5. Jednotka na čistenie vzduchu
- integrovať rôzne funkcie čistenia a úpravy, ako je filtrácia, sterilizácia, odvlhčovanie, zvlhčovanie atď.
6. Statická tlaková komora
-stabilizuje prúdenie vzduchu, znižuje turbulencie a hluk prúdenia vzduchu a zabezpečuje rovnomerné prúdenie vzduchu cez filtre.
7. Tlmič
- Znížte hluk generovaný ventilátormi a prúdením vzduchu, čím získate tiché pracovné prostredie
8. Snímače a regulátory diferenčného tlaku
- Monitorujte rozdiel tlaku medzi rôznymi oblasťami čistej miestnosti, aby ste zabezpečili, že vzduch prúdi vopred určeným smerom, aby sa zabránilo krížovej kontaminácii kontaminantmi.
Tieto zariadenia spolupracujú, aby zabezpečili, že kvalita vzduchu v mikroelektronickej čistej miestnosti dosiahne požadovanú triedu čistoty.
Kľúčové kroky a technické body mikroelektronického inžinierstva čistých priestorov:
1. Plánovanie návrhu: podľa výrobného procesu a požiadaviek určiť triedu čistých priestorov, plochu, dispozíciu atď. Zároveň trasu toku personálu, materiálov a zariadení, ako aj návrh čistenia vzduchu, klimatizácie a systémy osvetlenia.
2. Konštrukcia budovy: mala by mať dobré tesniace a tepelnoizolačné vlastnosti, aby sa znížil vplyv vonkajšieho prostredia na interiér. Zároveň je potrebné použiť materiály, ktoré nie sú jednoduché na vytváranie prachu a statickej elektriny, ako je nehrdzavejúca oceľ a hliníková zliatina.
3. Systém čistenia vzduchu: je základnou súčasťou mikroelektronického inžinierstva čistých priestorov. Na odstránenie prachu, baktérií, vírusov a iných škodlivín vo vnútornom ovzduší sa zvyčajne používajú vysokoúčinné filtre, ventilátory, vzduchové kanály a iné zariadenia, aby vzduch dosiahol určitú úroveň čistoty.
4. Klimatizačný systém: musí byť schopný riadiť vnútornú teplotu, vlhkosť a tlakový rozdiel, aby spĺňal požiadavky výrobného procesu. Zároveň by sa mali prijať energeticky úsporné a ekologické klimatizačné zariadenia a technológie na zníženie prevádzkových nákladov.
5. Elektrostatická kontrola: Proces výroby mikroelektroniky je náchylný na vytváranie statickej elektriny, ktorá ovplyvní kvalitu produktu. Preto je potrebné vykonať opatrenia na elimináciu statiky, ako je použitie eliminátorov statiky, pokládka antistatických podláh a pod.
6. Kontrola hluku: Hluk by ovplyvnil efektivitu práce a zdravie personálu, preto je potrebné prijať opatrenia na kontrolu hluku, ako je použitie zvukovo izolačných materiálov, inštalácia tlmičov atď.
7. Systém osvetlenia: mal by byť schopný poskytnúť dostatočný jas a rovnomernosť, aby vyhovoval požiadavkám výrobného procesu. Zároveň by sa mali prijať energeticky úsporné a ekologické osvetľovacie zariadenia a technológie na zníženie prevádzkových nákladov.
8. Personálny a materiálový manažment: vstup a výstup personálu a materiálu sa prísne riadi a kontroluje, aby sa znížilo vnášanie vonkajších znečisťujúcich látok. Zároveň by mal byť personál vyškolený, aby zlepšil svoje povedomie o čistote a prevádzkové zručnosti.
9. Skúška a overenie: po vybudovaní čistej miestnosti by sa mala vykonať skúška a overenie, aby sa zabezpečilo, že výkonnosť čistej miestnosti spĺňa konštrukčné požiadavky, ktoré zahŕňajú čistotu vzduchu, teplotu, vlhkosť, tlakový rozdiel, statickú elektrinu atď.
Záverom možno povedať, že mikroelektronické inžinierstvo čistej miestnosti je komplexný systém, ktorý vyžaduje viac faktorov. Iba prijatím pokročilých technológií a vybavenia môže byť vybudovaná čistá miestnosť, ktorá spĺňa požiadavky.
Populárne Tagy: čisté priestory pre mikroelektroniku, Čína dodávatelia čistých priestorov pre mikroelektroniku, výrobcovia, továreň, Výroba výrobkov osobnej starostlivosti o čistú miestnosť, Čistá miestnosť Flexibilné prostredie, Čisté izba sterilné prostredie, čistá miestnosť konzistentná výroba, Čisté prostredie bez mikrónov, čisté prostredie efektívne
